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水の光ファイバーと加工機械ふたたび 

前回のウォータジェットをレーザ光の導波管にしたレーザ加工機の話を書いた。その続き。

セミコンダクターに記事がありました。

FPD technology 2007-3
ウォータージェット誘導レーザーで新分野を開拓

これを読むと

位置決め精度±5μm、加工精度±3μm
レーザ出力200W(ランプ励起のNd:YAGパルスレーザーを使用)
加工径は、25μm径から最大で150μm径(ウォータージェット径は30μm以下)
加工速度は、厚さ50μmのSiウェーハで200~300mm/s
水(純水)の使用量は20ml/min程度でジェットの力は0.1N以下

シノヴァ・ジャパンの取締役談では「誘導する水がレーザー光を吸収すると水の温度が上昇してしまう。水の温度が上がると屈折率が変わってしまい、フォーカスを合わせても全反射する条件が狂ってしまう。ジェットを高速にして水温が変化しないウォータージェットを実現したことが最大のブレイクポイントだ」とのこと。

そうかぁ、水温の上昇は屈折率の変化をもたらし、ピントが狂ってしまうという技術的難題があったわけだ。水の流速をアップすればよいがそれでは水圧が上昇するし、水圧が上昇しないように水量を増やせばレーザ径が大きくなるはず。この辺のノウハウが成功の鍵なわけですな。

記事中で2007年中に加工径を10μmを実現し、300や400Wの出力を目指したいとされているが、どうなったのかな。

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